JG-350 C/R面取・平面研削装置  C / R chamfering / surface grinding machine

◆特長
●単結晶、多結晶のシリコンインゴットを平面研削及びC・R面研削する装置です。
加工後はエッチング無しでウエハスライスが可能になります。
Please contact us for the details of this machine.

 

項目
Contents
仕様
Specification
ワークサイズ
Ingot Size
直径
Diameter
156 mm
長さ
Length
150 mm~400 mm
円研ユニット
Cylindrical Unit
砥石直径
Cup wheel O.D.
Φ200 mm
砥石回転数
Cup wheel R.P.M.
2,300 rpm~4,500 rpm
平面送り速度
Traverse speed
800 mm/min (Max)
C面送り速度
Ingot rotating speed
1000 mm/min (Max)
本体寸法
Machine Size
W2,200 mm × D1,700 mm × H1,900 mm
本体重量
Weight
3,200 kg

<< Back