良品チップを取除いたリングフレームからダイシングテープを剝し、リングフレームの表面を拭き洗浄後、向きを揃え回収エリアに段積みする全自動装置です。
本機の対象ウェハサイズはΦ6インチです。Φ8インチ、Φ12インチは新規設計が必要になります。仕様の詳細はカタログを参照ください。
特長
- カセットをセット後スイッチONでテープ剝し~洗浄~収納まで全自動で行います
- リングフレームの位相出し、反り検知、整列も自動で行います
- 使用テープによって最適な洗浄条件を設定できます
- 剝したダイシングテープは専用BOXに収納します。装置裏側から引出して処分します
ポイント
- 補助作業であるテープ剝し作業を全自動で行うことで大きな省人効果が得られます
- 人による作業と比較し、有機溶剤の取扱い頻度が大幅に減り、安全衛生面で有効です
ワークフロー
主な仕様
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