ウェハ装置 製品

テープにウェハーを気泡なく貼れます!【セミオートテープマウンター】

本装置は半自動で、ウェハとダイシングテープをテープフレームに精度良く貼り合わせる装置です。

特長

  • ウェハに適正な温度が加わるように、テーブルを加熱ができます
  • テープの帯電防止としてイオナイザーを装備しています
  • テープ及びウェハの貼付けは、設定した速度で自動的に行います
  • ウェハの厚さ調整は、テーブル高さの上下で設定できます
  • 指定テープフレーム以外のリングは、セットプレートの交換で対応可能です。(オプション)

ポイント

  • IC基板(モールド完)の貼り合わせも可能です
  • 汎用性、利便性、拡張性に優れた装置です

ワークフロー

  1. テープフレームをセットします(位置決めピン突き当て&マグネット固定)
  2. ウェハをセットします(目あわせ)
  3. ウェハ吸着固定スイッチをオンします
  4. ダイシングテープを手動で引き出し、所定の位置へセットします
  5. 貼り付けローラーを所定の位置へセットし、開始スイッチを両手でオンします
  6. 貼り付けローラーが自動で往復します。停止後、手動によりカバー閉じます
  7. 手動によりサークルカット&ピッチカットを行います
  8. カバーを開け、テープの切り取りシロを取り除きます
  9. ウェハの吸着スイッチをオフし、ワークを取り除いて完了です

主な仕様

形式:SMM-100 適用ウェハー:Φ8インチ以下 テープフレーム:MODTF2-8-1 テーブル加熱温度:RT〜80℃ 適応テープ寸法:幅 300mm 芯径 Φ75 巻径 Max Φ200 貼り付けスピード:1〜20 mm/Sec 外径寸法:幅650mm 奥行き800mm 高さ 500mm ユーティリティ:ドライエア(0.4MPa以上)/ 工場真空 重量:70Kg 供給源:AC100V 20A

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