化合物・結晶体研削装置 製品

有用なコアを正確に抜き取るために【コアリング装置 SCO-150S 】

本装置は半導体用化合物のインゴットからコア(円柱状)を抜き取る装置です。

機能概要

  • インゴット(ワーク)のセット~位置合せは手動で行います
  • 切削液はクーラントタンクを循環することで冷却とクリーニングを行います

ポイント

  • IoTシステムと連動して種々のセンサーを追加しデータセンシングを行うことで、保全管理や品質向上が可能です(オプション)

機器概略

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JBS-510

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