本装置は半導体用化合物のコア(円柱状)円周を指定寸法に削り、オリフラ加工を自動的に行う装置です。
機能概要
- コア(ワーク)のセット~位置合せは手動またはセット台車(※)で行います
- コアの位置補正~研削~結晶方位検出~オリフラ加工まで全自動で行います
- 切削液はクーラントタンク(※)を循環することで冷却とクリーニングを行います
※:オプション機器となります
ポイント
- IoTシステムと連動して種々のセンサーを追加しデータセンシングを行うことで、保全管理や品質向上が可能です(オプション)
機器概略
主な仕様
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