本装置は半導体用化合物のインゴットやコアの端を切断し、形状を整える装置です。
機能概要
- インゴット(ワーク)のセット~位置合せは手動で行います
- インゴットの端を外周刃(ダイヤモンドブレード)でカットします
- 切削液はクーラントタンク(※)を循環することで冷却とクリーニングを行います
※:オプション機器となります
ポイント
- IoTシステムと連動して種々のセンサーを追加しデータセンシングを行うことで、保全管理や品質向上が可能です(オプション)
機器概略
主な仕様
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