ウェハ装置 製品

リングフレーム再使用の省人化に!【全自動リングクリーナー】

良品チップを取除いたリングフレームからダイシングテープを剝し、リングフレームの表面を拭き洗浄後、向きを揃え回収エリアに段積みする全自動装置です。

特長

  • カセットをセット後スイッチONでテープ剝し~洗浄~収納まで全自動で行います
  • リングフレームの位相出し、反り検知、整列も自動で行います
  • 使用テープによって最適な洗浄条件を設定できます
  • 剝したダイシングテープは専用BOXに収納します。装置裏側から引出して処分します

ポイント

  • 補助作業であるテープ剝し作業を全自動で行うことで大きな省人効果が得られます
  • 人による作業と比較し、有機溶剤の取扱い頻度が大幅に減り、安全衛生面で有効です

ワークフロー

1.ローダー 2.バッファ 3.UV照射 4.テープ剥離 5.拭き洗浄 6.位相出し/反り検査 7.アンローダー

主な仕様

形式:RC-250 適用テープ:UVテープ テープフレーム:MODTF2-6-1 洗浄液:IPA及びMEK 適用ワイパー:ベンリーゼ TS-100 ロールタイプ 処理能力:約30秒/枚 外径寸法:幅1,800mm 奥行き1,100mm 高さ2,140mm ユーティリティ:ドライエア(0.4MPa以上) 重量:750Kg 供給源:三相 AC200V

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