ウェハ装置 製品

リングフレーム再使用の省人化に!【全自動リングクリーナー RC-250】

良品チップを取除いたリングフレームからダイシングテープを剝し、リングフレームの表面を拭き洗浄後、向きを揃え回収エリアに段積みする全自動装置です。

本機の対象ウェハサイズはΦ6インチです。Φ8インチ、Φ12インチは新規設計が必要になります。仕様の詳細はカタログを参照ください。

特長

  • カセットをセット後スイッチONでテープ剝し~洗浄~収納まで全自動で行います
  • リングフレームの位相出し、反り検知、整列も自動で行います
  • 使用テープによって最適な洗浄条件を設定できます
  • 剝したダイシングテープは専用BOXに収納します。装置裏側から引出して処分します

ポイント

  • 補助作業であるテープ剝し作業を全自動で行うことで大きな省人効果が得られます
  • 人による作業と比較し、有機溶剤の取扱い頻度が大幅に減り、安全衛生面で有効です

ワークフロー

1.ローダー 2.バッファ 3.UV照射 4.テープ剥離 5.拭き洗浄 6.位相出し/反り検査 7.アンローダー

主な仕様

詳細仕様については当製品カタログをダウンロードの上、ご確認ください。

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本装置は、ダイシングで個片にされたウェハー内のチップをピックアップする前で、チップ同士干渉しないよう隙間を確保するため、テープフレームに貼られたウェハーを拡張したまま、拡張リングに移動することができます。 本装置の対象テープフレームはΦ6インチ用です。Φ8インチ、Φ12インチへの適用には新規設計が必要です。仕様の詳細はカタログを参照ください。

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